法國(guó)Phasics波前傳感器(波前分析儀)

【SID4-UV-HR簡(jiǎn)介】

隨著光波波前探測(cè)技術(shù)的發(fā)展，各種波前傳感器應(yīng)運(yùn)而生。從測(cè)量原理上可以分成兩類(lèi)：一類(lèi)是根據(jù)幾何光學(xué)原理，測(cè)定波前幾何像差或面型誤差，主要有Shack－Hartmann 波前傳感器，曲率傳感器和Pyramid 波前傳感器等；另一類(lèi)是基于干涉測(cè)量原理，探測(cè)波前不同部分的干涉性，來(lái)獲取波前信息，主要有剪切干涉儀波前傳感器和相位獲取傳感器等。剪切干涉儀波前傳感器不需要精確的參考標(biāo)準(zhǔn)鏡;它們結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，抗干擾能力強(qiáng)，條紋穩(wěn)定。它是測(cè)量光學(xué)元件和光束波前質(zhì)量的一種很好的替代傳統(tǒng)干涉儀的方法。作為低可至波長(zhǎng)250 nm的高分辨率波前傳感器，SID4-UV-HR非常適合于紫外光學(xué)測(cè)量，包括用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測(cè)。

【關(guān)于Phasics】

Phasics是一家專(zhuān)注于高分辨率波前傳感技術(shù)的法國(guó)公司。Phasics公司憑借其在測(cè)量方面的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗(yàn)與*的波前測(cè)量技術(shù)為客戶(hù)提供全面的高性能波前傳感器。

一、 法國(guó)Phasics波前傳感器(波前分析儀)主要特點(diǎn)

• 低至190nm波長(zhǎng)感光靈敏

• 1  nm RMS高相位靈敏度

• 355 x 280超高相位取樣分辨率

二、SID4-UV-HR波前傳感器產(chǎn)品功能

• 波前像差測(cè)量

基于四波剪切技術(shù)，Phasics 的波前傳感器同時(shí)提供高分辨率的相位和強(qiáng)度測(cè)量。 波前傳感器與其光束分析軟件相結(jié)合，可提供完整的激光診斷：波前像差、強(qiáng)度分布、激光光束質(zhì)量參數(shù)（M2、束腰尺寸和位置等）。Phasics 的波前分析儀可以放置在光學(xué)裝置的任何一點(diǎn)，無(wú)論光束是準(zhǔn)直的還是發(fā)散的。作為低可至波長(zhǎng)250 nm的高分辨率波前傳感器，SID4-UV非常適合于紫外光學(xué)測(cè)量，包括用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測(cè)。

三、SID4-UV-HR 波前傳感器應(yīng)用領(lǐng)域

紫外光學(xué)測(cè)量| 光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征| 透鏡和晶圓的表面面型檢測(cè)| 自適應(yīng)光學(xué)

四、SID4-UV-HR 波前傳感器主要規(guī)格

五、更多參數(shù)選型

上海昊量光電設(shè)備有限公司作為法國(guó)Phasics品牌波前分析儀產(chǎn)品在中國(guó)的代理商,憑借強(qiáng)大的本地化銷(xiāo)售網(wǎng)絡(luò)與專(zhuān)業(yè)技術(shù)支持團(tuán)隊(duì),長(zhǎng)期服務(wù)于國(guó)內(nèi)數(shù)以萬(wàn)計(jì)工業(yè)及科研客戶(hù),涵蓋半導(dǎo)體、生物醫(yī)療、量子科技、精密制造、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、材料加工、光通訊等前沿領(lǐng)域。

昊量光電擁有*的軟硬件開(kāi)發(fā)團(tuán)隊(duì)及豐富的行業(yè)應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),可提供:

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依托全球化資源與本土化服務(wù),昊量光電致力于成為客戶(hù)值得信頓的光電產(chǎn)品及技術(shù)合作伙伴。

可通過(guò)昊量光電網(wǎng)站了解更多的產(chǎn)品信息,產(chǎn)品包括各類(lèi)激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、光學(xué)元件等五千多款。